國家科學及技術委員會科學園區審議會第4次會議核准投資案–方均科技

〔記者鄭德政南市報導〕國家科學及技術委員會南部科學園區管理局轄下臺南園區、高雄園區及橋頭園區今(111)年截至12月20日止,總計引進30家廠商,累計投資金額為新臺幣570.7905億元,園區有效核准廠商家數為272家,本次通過核准入區投資之申請案說明如下:
方均科技股份有限公司申請於南科臺南園區投資設立,投資金額為新臺幣0.5億元,提供功能性奈米鍍膜服務,以及客製化奈米鍍膜化學氣相沉積設備之開發,產品主要應用於半導體及光電產業。

(圖說)方均科技公司張均豪執行長、陳泰宏研發經理與ParyleneCVD鍍膜設備。(南科提供)
方均科技為工研院衍生的新創公司,於工研院15年來累積奈米鍍膜製程設備技術,並掌握耐高電壓與高操作溫度之Low-K先進鍍膜材料-八氟[2,2]二聚對二甲苯(Parylene-AF4),整合硬體設備、軟體程式、材料應用及製程,提供完整的技術解決方案,除可精準控制鍍膜厚度、減少製程時間外,還能達到良好均勻性及重現性,已成功切入國內大型面板廠及國內外半導體廠,未來進駐南科臺南園區後,可就近服務園區廠商,將有助於提升園區產業競爭力。